石墨 VGI 工艺即玻璃体碳浸渍工艺，是半导体领域高端石墨制品主流封孔改性方案，整套工艺核心载体为石墨浸渍罐，依靠密闭真空加压环境完成石墨基体深层浸渍处理。山东众泰同泽机械有限公司长期深耕碳素材料浸渍装备领域，长期开展石墨浸渍罐研发制造项目，拥有丰富同类设备落地经验。
VGI 工艺区别于普通表面涂层处理，依托石墨浸渍罐构建真空加压工况，抽出等静压石墨微孔内空气，将液态玻璃碳渗透进入基体孔隙，经高温转化形成致密玻璃体碳结构；
经过石墨浸渍罐处理后的 VGI 石墨，孔隙有效封闭，减少石墨粉尘脱落，降低材料放气率，提升耐金属侵蚀能力，广泛适配离子注入设备、真空热场等高洁净工况；
完整工艺流程：石墨工件预处理→入罐→石墨浸渍罐抽真空→注入浸渍原料→保压渗透→固化热处理。石墨浸渍罐的真空精度、压力稳定性、温控均匀度，直接影响 VGI 浸渍深度与产品良率。山东众泰同泽机械有限公司可根据 VGI 生产需求，定制不同容积、控制标准的石墨浸渍压力容器。
